TURBOVAC/TURBOVAC MAG

Турбомолекулярные вакуумные насосы (TURBOVAC) используются для создания чистого высокого или сверхвысокого вакуума, как, например, в научных исследованиях и разработках, в полупроводниковой промышленности, в аналитических приборах и технологии нанесения покрытий.

Принцип действия

Турбомолекулярный насос представляет собой турбину, быстро вращающуюся в корпусе со ступенями ротора турбины. TURBOVAC i снабжен несколькими лопастями ротора. Между вращающимися лопастями ротора расположены неподвижные статорные диски с лопастями, расположенными в противоположном направлении. Посредством передачи импульса от вращающихся лопастей ротора к молекулам газа их первоначально ненаправленное тепловое движение изменяется на направленное движение от входного фланца насоса в осевом направлении к фланцу форвакуумного клапана. В диапазоне молекулярных потоков (т.е. при давлениях ниже 10-3 мбар (0,75 x 10-3 Торр) длина свободного пробега молекул газа больше, чем расстояние между ротором и лопатками статора (обычно несколько десятых миллиметров). Соответственно молекулы в основном сталкиваются с оптически плотными лопастями ротора, что приводит к эффективному насосному действию. В диапазоне ламинарного потока (то есть при давлениях более 10-1 мбар (0,75 x 10-1 Торр) влияние ротора ухудшается из-за частых столкновений между самими молекулами. По этой причине турбомолекулярный насос не способен перекачивать газы при атмосферном давлении.